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清洁厂房设计规范

公布工夫:2015-10-14 泉源:http://www.yscleaning.com/ 浏览次数:1074

中华人民共和国国家标准
清洁厂房设计规范
GBJ73--84
主编部门:中华人民共和国电子工业部
核准部门:中华人民共和国国家计划委员会
实施日期:一九八五年六月一日
关于公布《清洁厂房设计规范》的关照
计标[1984]2483号
凭据本国度建委(78)建发设字第562号文的要求,由电子工业部会同有关
部门配合体例的《清洁厂房设计规范》曾经有关部门会审。现核准《清洁厂房设
计范例》GBJ73-84为国家标准,自一九八五年六月一日起实施。
本范例由电子工业部管理,其详细注释等事情,由电子工业部第十设想研讨 院卖力。
国家计划委员会
一九八四年十二月一日
体例阐明
本范例是凭据本国度基本建设委员会(78)建发设字第562号文的要求,由
我部卖力主编的。详细由我部第十设计研究院会同机器工业部第十一设计研究院、
航空工业部第四计划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、武器工业部第
五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设想研讨
院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色治金设想研讨总院、中国
修建科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单元配合体例而成。
正在体例历程中,范例体例组停止了普遍的调查研究,卖力总结了我国清洁厂
房建立和运用的实践经验,构造有关单元展开了需要的科学实验研究工作,并广
泛天收罗了天下有关单元的看法。最初,由我部会同有关部门检察定稿。
本范例共分八章和七个附录,重要的内容有:总则、氛围清洁度品级、整体
设想、修建、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。
鉴于本范例系首次体例,实行历程中,希各单位联合工程理论和科学研究,
卖力总结经验,如发明需求修正和空虚之处,请将看法和有关材料寄交我部第十
设计研究院,以供以后订正时参考。
电子工业部
一九八四年八月二十七日
目次
第一章 总则
第二章 氛围清洁度品级
第三章 整体设想
第一节 清洁厂房位置挑选和总平面布置
第二节 工艺部署和设想综合和谐
第三节 噪声控制
第四节 微振掌握
第四章 修建
第一节 一样平常划定
第二节 职员净化和物料净化设备
第三节 防火和分散
第四节 室内装修
第五节 装配式洁净室
第五章 空气净化
第一节 一样平常划定
第二节 洁净室正压掌握
第三节 气流组织和送风量
第四节 空气净化处置惩罚
第五节 采暖透风
第六节 风管和附件
第六章 给水排水
第一节 一样平常划定
第二节 给水
第三节 排水
第四节 消防设施
第七章 工业气体管道
第一节 一样平常划定
第二节 管道质料、阀门和附件
第三节 管道衔接和洗濯
第四节 安全技术
第八章 电气
第一节 配电
第二节 照明
第三节 掌握、通讯和防护
附录一名词解释
附录二洁净室氛围清洁度的测试
附录三清洁厂房消费的火警危险性分类举例
附录四净化空气调节体系设想对施工的要求
附录五净化空气调节体系设想对保护管理的要求
附录六净化空气调节体系风管壁薄
附录七本范例用词阐明
第一章 总则
第1.0.1条清洁厂房设想必需贯彻执行国度的有关方针政策,做到手艺
先辈、经济公道、平安实用、确保质量、相符节约能源和环境保护的要求。
第1.0.2条本范例适用于新建和改建、扩建的清洁厂房设想,但不实用
于以细菌为掌握工具的生物洁净室。本范例有关防火和分散、消防设施章节的规
定,不适用于修建高度凌驾24米的高层清洁厂房和地下清洁厂房的设想。
第1.0.3条正在应用原有修建停止清洁技术改造时,清洁厂房设想必须根
据生产工艺要求,随机应变、区分看待,充分利用已有的手艺设备。
第1.0.4条清洁厂房设想应为施工安装、保护管理、检验测试和平安运
止发明需要的前提。
第1.0.5条清洁厂房设想除应按本范例实行中,尚应相符现行的国度标
准、范例的有关要求。
第二章 氛围清洁度品级
第2.0.1条氛围清洁度应按表2.0.1划定分别为四个品级。
氛围清洁度 表2.0.1
┌────┬──────────┬─────────┐
│品级 │每立方米(每降)氛围│每立方米(每降)空│
│ │中≥0.5微米尘粒数 │气中≥5微米尘粒数 │
├────┼──────────┼─────────┤
│100级 │≤35×100(3.5) │ │
├────┼──────────┼─────────┤
│1000级 │≤35×1000(35) │≤250(0.25) │
├────┼──────────┼─────────┤
│10000级│≤35×10000(350) │≤2500(2.5) │
├────┼──────────┼─────────┤
│100000级│≤35×100000(3500)│≤5000(25) │
└────┴──────────┴─────────┘
注: 关于氛围清洁度为100级的清洁室内大于即是5微米尘粒的计数,应停止屡次采
样,当其屡次出现时,方可以为该测试数值是可靠的.
第2.0.2条洁净室氛围清洁度品级的磨练,应以静态条件下测试的尘粒
数为根据。洁净室氛围清洁度的测试,应相符附录二划定。
第三章 整体设想
@@& 第一节 清洁厂房位置挑选和总平面布置
第3.1.1条清洁厂房位置的挑选,应凭据以下要求并经手艺经济计划比
较后肯定:
一、应正在大气露尘浓度较低,自然环境较好的地区;
二、应阔别铁路、船埠、飞机场、交通要道和披发大量粉尘和有害气体的
工场、贮仓、堆场等有严峻空气污染、振动或噪声滋扰的地区,如不克不及阔别严峻
氛围污染源时,则应位于其最大频次风向下风侧,或整年最小频次风向下风侧;
三、应部署正在厂区内环境干净、人流货流不穿越或少穿越的区域。
第3.1.2条关于兼有微振掌握要求的清洁厂房的位置挑选,应现实测定
四周现有振源的振动影响,并应取周详装备、周详仪器仪表许可情况振动值停止
剖析对照。
第3.1.3条清洁厂房最大频次风向下风侧有烟囱时,清洁厂房取烟囱之
间的程度间隔不宜小于烟囱高度的12倍。
第3.1.4条清洁厂房取交通干道之间的间隔不宜小于50米。
第3.1.5条清洁厂房四周宜设置环形消防车道(可应用交通道路)。如
有难题时,可沿厂房的两个少边设置消防车道。
第3.1.6条清洁厂房四周的道路面层,应选用整体性好、发尘少的材新。
第3.1.7条清洁厂房四周应停止绿化。可铺植草坪、栽种对大气含尘浓
度不发生有害影响的树木,并构成绿化小区,但不得防碍消防操纵。
@@& 第二节 工艺部署和设想综合和谐
第3.2.1条工艺部署应相符以下要求:
一、工艺部署公道、松散。洁净室或清洁区内只部署需要的工艺设备和有
氛围清洁度品级要求的工序和工作室;
二、正在知足生产工艺要求的条件下,氛围清洁度下的洁净室或清洁区宜接近空
气调治机房;氛围清洁度品级雷同的工序和工作室宜集中部署;接近清洁区入口 处宜部署氛围清洁度品级较低的工作室;
三、清洁室内要求氛围清洁度下的工序应部署正在下风侧易发生净化的工艺设
备应部署正在接近回风口位置;
四、应思索大型装备安装和维修的运输路线,并预留装备安装口和检验口;
五、应设置零丁的物料入口,物料通报路线应最短,物料进入清洁区之前必
须停止干净处置惩罚。
第3.2.2条清洁厂房内宜少设隔间,但鄙人列状况下可予以分开:
一、按消费的火警危险性分类,甲、乙类取非甲、乙类相邻的消费区段之间,
或有防火分开要求者; 二、生产过程中发生较强噪声或披发较多热量、尘粒和有害气体,且不克不及采
与部分步伐加以控制者;
三、消费联络少,并常常不同时运用的两个消费区段之间。
第3.2.3条清洁厂房的平面和空间设想,宜将清洁区、职员净化、物料
净化和其他辅佐用房停止分区部署。同时应思索消费操纵、工艺设备安装和维修、
气流组织型式、管线部署和净化空气调节体系等种种手艺设备的综合和谐结果。
第3.2.4条清洁厂房设想必需公道肯定种种管线的平面位置和脆背标高。
第3.2.5条清洁厂房内种种流动手艺设备(如送风口、照冥器、回风口、 种种管线等)的部署,宜起首思索净化空气调节体系的要求。
@@& 第三节 噪声控制
第3.3.1条清洁室内的噪声级,应相符以下要求:
一、静态测试时,清洁室内的噪声级不应凌驾70分贝A。
二、空态测试时,乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A;层流洁净室的噪
声级不应大于65分贝A。
注:①因为手艺经济前提限定,或噪声大于70分贝A对消费无影响时,噪声
级可恰当放宽,但不宜大于75分贝A;
②上述噪声级是指正在室内每个事情点人耳位置(人脱离)的丈量值。关于
更改噪声,则与雷同位置处在一个一般工作日内的等效一连声压级。 第3.3.2条 洁净室的噪声频谱限定,应接纳倍频程声压级;各频带声压
级值不宜大于表3.3.2的划定。
噪声频谱限定 表3.3.2
┌─────────┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┐
│倍频程\中心频 │ │ │ │ │ │ │ │ │
│ \大声\率 │63 │125 │250 │500 │1000│2000│4000│8000│
│清洁\压值\(赫)│ │ │ │ │ │ │ │ │
│室分类\(分贝) │ │ │ │ │ │ │ │ │
├────┬────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤
│空态 │乱流 │79 │70 │63 │58 │55 │52 │50 │40 │
│ ├────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤
│ │层流 │83 │74 │68 │63 │60 │57 │55 │54 │
├────┴────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤
│静态 │87 │78 │72 │68 │65 │62 │60 │59 │
└─────────┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┘
第3.3.3条清洁厂房的仄、剖面部署,应思索噪声控制的要求,其围护
构造应有优越的隔声机能,并宜使各部分隔声量相接远。
第3.3.4条清洁室内的种种装备均应选用低噪声产物。关于辐射噪声超 过洁净室许可值的装备,应设置公用隔声设备(如隔声间、隔声罩等)。澳门新萄京8455
第3.3.5条净化空气调节体系噪声凌驾许可值时,应接纳隔声、消声、
隔振等掌握步伐。
除变乱排风外,应对清洁室内的排风体系停止加噪设想。9539.com
第3.3.6条净化空气调节体系,凭据室内噪声级的要求,风管内风速宜
按以下划定选用:
一、总风管为6--10米/秒;
二、无收、回风口的文风管为6~8米/秒;
三、有收、回风口的文风管为3~6米/秒。
第3.3.7条清洁厂房的噪声控制设想必需思索消费情况的氛围清洁度要
供,不消果掌握噪声而影响洁净室的净化前提。
@@& 第四节 微振掌握
第3.4.1条清洁厂房和四周辅助性站房内有猛烈振动的装备(包孕水泵
等)及其通往洁净室的管道,应接纳主动隔振步伐。
第3.4.2条对清洁厂房表里各种振源,应测定其对清洁厂房的综合振动
影响。如受前提限定,也可凭据履历对综合振动影响停止评价。并应取周详装备、
周详仪器仪表的许可情况振动值停止对照,以肯定对其接纳需要的田振步伐。
第3.4.3条周详装备、周详仪器仪表的隔振步伐,应思索削减发尘量、
连结清洁室内公道的气流组织等要求。当接纳氛围弹簧隔振台座时,应对气温进 止处置惩罚,使其到达洁净室的氛围清洁度品级。
第四章 修建
@@& 第一节 一样平常划定
第4.1.1条清洁厂房的修建平面和空间布局,应具有恰当的灵活性。净
净区的主体构造不宜接纳内墙承重。
第4.1.2条洁净室的高度以净高掌握,净高应以100毫根基模数。
第4.1.3条清洁厂房主体构造的耐久性取室内设备和装修程度相和谐,jpz2015338葡京公司
并应具有防火、掌握温度变形和不均匀沉陷机能(天震区应相符抗震设想划定)。
厂房变形缝应制止穿过清洁区。
第4.1.4条收、回风管和其他管线需暗敷时,应设置手艺夹层、手艺夹
讲或地沟等;穿越极层的竖向管线需暗敷时,宜设置手艺竖井。
第4.1.5条对兼有一样平常消费和清洁消费的综合性厂房,其方案设计和构
造的处置惩罚,应制止正在人流取物流运输和防火方面临清洁消费带来晦气影响。
@@& 第二节 职员净化和物料净化设备
第4.2.1条清洁厂房内应设置职员净化、物料净化用室和设备,并应根
据需求设置生涯用室和其他用室。
第4.2.2条职员净化用室,宜包孕雨具寄存间、管理室、换鞋室、存外套
室、盥洗室、清洁工作服室和氛围吹淋室等。
茅厕、淋浴室、休息室等生涯用室和工作服洗濯间和枯燥间等其他用室, 可凭据需求设置。
第4.2.3条职员净化用室和生涯用室的设想,应相符以下要求:
一、职员净化用室的入口处,应设净鞋器。
二、存外套室和清洁工作服室应分别设置。外套存衣柜和清洁工作服柜应按
设计人数每人设一柜。
三、盥洗室应设洗手和烘干装备。水龙头应按最买办人数每10人设一个。
四、清洁区不得设茅厕。职员净化用室内的茅厕应设前室。
五、氛围吸淋室应设在清洁区职员入口处,并应取清洁工作服室相邻。单人
氛围吹淋室按最买办人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时,可改
设气闸室。
清洁区工作人员凌驾5人时,氛围吹淋室一侧应设旁通门。
第4.2.4条人流路线应制止往复交织。职员净化用室和生涯用室的部署,
一样平常按图4.2.4的职员净化顺序停止部署。
第4.2.5条凭据差别的氛围清洁度品级和工作人员数目,清洁厂房内子
员净化用室和生涯用室的建筑面积应公道肯定。一样平常可按清洁区设计人数均匀每
人4~6平方米盘算。
第4.2.6条清洁工作服室内,对空气净化应有肯定的要求。
第4.2.7条洁净室的装备和物料出入口,应凭据装备和物料的性子、形
状守候征设置物料净化用室及其设备。物料净化用室的部署,应防备净化后物料
正在通报历程中被净化。
@@& 第三节 防火和分散
第4.3.1条清洁厂房的耐火品级不应低于二级。吊顶质料应为非熄灭体,
其耐火极限不宜小于0.25小时。
第4.3.2条清洁厂房内一样平常的消费工作间的火警危险性,可按附录三进
止分类。
第4.3.3条甲、乙类消费的清洁厂房,宜接纳单层厂房。其防火墙间最
大许可占地面积,单层厂房应为3,000平方米,多层厂房应为2,000平方米。
第4.3.4条甲、乙类消费或设置正在甲、乙类消费情况中的装配式洁净室,
其顶棚和壁板(包孕内部填充物)应为非熄灭体。
第4.3.5条正在一个防火区内的综合性厂房,其清洁消费取一样平常消费地区
之间应设置非熄灭体隔墙关闭到顶。隔墙及其响应顶板的耐火极限不应低于1小
时,隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板的管线四周闲暇
应接纳非熄灭质料严密填塞。
第4.3.6条手艺竖井井壁应为非熄灭体,其耐火极限不应低于1小时。井
壁上搜检门的耐火极限不应低于0.6小时;竖井内涵各层或距离一层楼板处,应
接纳相当于楼板耐火极限的非熄灭体做程度防火分开;穿过程度防火分开的管线
四周闲暇,应接纳非熄灭质料严密填塞。
第4.3.7条清洁厂房每消费层、每防火分区或每清洁区的平安出
口的数目,均不应少于两个。但相符以下要求者,可设置一个平安出口:
一、甲、乙类消费厂房每层的总建筑面积不消过50平方米,且统一时间内的
消费职员总数不消过5人;
二、丙、丁、戊类消费厂房,相符国度现行的《建筑设计防火范例》的划定
者。
平安出口应疏散匀称部署,从消费所在至平安出口不消经由迂回的职员净化
路线。
第4.3.8条清洁区取非清洁区和清洁区取室外相通的平安分散门应背疏
散偏向开启。平安分散门不得接纳吊门、转门、侧拉门和电控自动门。 第4.3.9条 当清洁厂房同层外墙上可供消防职员通往厂房清洁区的门窗,
其洞口间距大于80米时,则应正在该段外墙的恰当部位设置公用消防口。
公用消防口的宽度不应小于750毫米,高度不应小于1800毫米,并应有显着
标记。
楼层的公用消防口应附设阳台,并从二层起向上设爬楼。
@@& 第四节 室内装修
第4.4.1条清洁厂房的修建围护结构和室内装修,应选用气密性优越,
且正在温度和湿度等转变感化下变形小的质料。墙面内装修当需附加组织骨架和保
温层时。应接纳非熄灭体或易熄灭体。
第4.4.2条清洁室内墙壁和顶棚的外面,应相符平整、润滑、不起灰、
制止眩光、便于除尘等要求;应削减凹凸里,阴阳角做成圆角。室内装修宜接纳
于操纵;如为抹灰时,应接纳初级抹灰尺度。
第4.4.3条洁净室的空中,应相符平整、耐磨、易除尘洗濯、不容易蕴蓄
静电、制止眩光、并有温馨感等要求。
第4.4.4条清洁厂房手艺夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需正在手艺夹层内
改换高效氛围过滤器时,宜增刷涂料饰里。
空中、回风地沟和位于地下的手艺夹层,应接纳防水或防潮、防霉步伐。
修建风道和回风地沟的内外面装修尺度,应取全部收、回风体系相适应,并 应易于除尘。
第4.4.5条洁净室和职员净化用室设置的中窗,应接纳双层玻璃金属窗,
并应有优越的气密性。
第4.4.6条清洁室内的密闭门宜朝氛围清洁度较高的房间开启。无窗洁
净室的密闭门上宜设观察窗。
第4.4.7条洁净室门窗、墙壁、顶棚、天(楼)里的组织和施工漏洞,
均应接纳可靠的密封步伐。
第4.4.8条清洁室内的颜色宜淡雅温和。室内各外面质料的光反射系数,
顶棚和墙面宜为0.6-0.8;空中宜为0.15--0.35。
@@& 第五节 装配式洁净室
第4.5.1条正在新建或改建的清洁厂房设想中,关于面积不大、层高较低、
要求氛围清洁度较高的消费情况可采用装配式洁净室。
第4.5.2条装配式洁净室地点的房间应有空气净化要求,并应取装配式净
净室的氛围清洁度品级相适应。外围修建的耐火品级不得低于二级。
第4.5.3条装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室自己内壁板或支柱支承,
也可流动正在外围修建上。回风地沟或回风天坑宜设在外围修建的空中以下。
第4.5.4条装配式洁净室设想应知足正在该室室内安装壁板的要求。装配
式洁净室的构配件应做到:衔接组织的整体性强、气密性好,并便于组装、拆卸、
包装和运输。
第4.5.5条装配式洁净室的周围壁板中,宜有一面或两面紧贴或接近中
围修建的墙壁。紧贴时,壁板取墙壁之间的安装漏洞应关闭;接近时,应留有浑
扫间隔。当装配式洁净室时,壁板外侧设有手艺夹道时,壁板取外围修建内墙面
之间净宽不宜小于600毫米。
第五章 空气净化
@@& 第一节 一样平常划定
第5.1.1条清洁厂房内各洁净室的氛围清洁度品级确实定,应相符以下
要求:
一、清洁室内有多种工序时,应凭据各工序的差别要求,接纳差别的氛围净
净度品级。
二、正在知足生产工艺要求的条件下,洁净室的气流组织,宜接纳部分事情
区空气净化和全室空气净化相结合的情势。
第5.1.2条层流洁净室和乱流洁净室和运转班次和使用时间差别的净
净室,其净化空气调节体系均宜离开设置。
第5.1.3条清洁室内的盘算温、湿度,应相符以下划定:
一、知足生产工艺要求;
二、生产工艺无温、湿度要求时,洁净室温度为20~26℃,湿度小于70%;
三、职员净化用室和生涯用室温度为16-28℃。
第5.1.4条洁净室内应包管-定的新鲜空气量,其数值应与以下风量中
的最大值:
一、乱流洁净室后送风量的10-30%,层流洁净室总送风量的2~4%;
二、赔偿室内排风和连结室内正压值所需的新鲜空气量;
三、包管室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
第5.1.5条清洁区的排除,宜接纳移动式高效真空吸尘器或设置集中式
真空吸尘体系。清洁室内集中式真空吸尘体系的管道,应暗敷。
第5.1.6条正在净化空气调节体系设想中,对施工和保护管理要求,可按
附录四和附录五的划定。
@@& 第二节 洁净室正压掌握
第5.2.1条洁净室必需保持肯定的正压。 差别品级的洁净室和清洁区
取非清洁区之间的静压差,应不小于0.5毫米水柱;清洁区取室外的静压差,不
应小于1.0毫米水柱。
第5.2.2条洁净室保持差别的正压值所需的正压风量,宜按下式盘算:
Q=a.∑(q.L) (5.2.2)
式中Q一保持洁净室正压值所需的正压风量(立方米/时),
a一凭据围护结构气密性肯定的安全系数,可取l.l-l.2;
q一当洁净室为某一正压值时,其围护结构单元长度漏洞的渗漏风量(立方
米/时·米);
L一围护结构的漏洞长度(米)。
第5.2.3条围护结构单元长度漏洞的渗漏风量 可按表5.2.3接纳。
围护结构单元长度漏洞的渗漏风量 表5.2.3
┌───────┬──┬─┬──┬──┬──┬──┬──┐
│漏风 \门窗 │ │稀│单层│单层│单层│通报│壁板│
│\量(\ 形 │非稀│闭│流动│流动│开启│窗 │ │
│压差\米^3 \式│闭门│门│密闭│密闭│式密│ │ │
│差(毫\/时 \│ │ │木窗│钢窗│闭钢│ │ │
│米水柱)\米)│ │ │ │ │窗 │ │ │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│0.5 │17 │4 │1.0 │0.7 │3.5 │2.0 │0.3 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│1.0 │24 │6 │1.5 │1.0 │4.5 │3.0 │0.6 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ │1.5 │30 │8 │2.0 │1.3 │6.0 │4.0 │0.8 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│2.0 │36 │9 │2.5 │1.5 │7.0 │5.0 │1.0 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│2.5 │40 │10│2.8 │1.7 │8.0 │5.5 │1.2 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│3.0 │44 │11│3.0 │1.9 │8.5 │6.0 │1.4 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│3.5 │48 │12│3.5 │2.1 │9.0 │7.0 │1.5 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│4.0 │52 │13│3.8 │2.3 │10.0│7.5 │1.7 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│4.5 │55 │15│4.0 │2.5 │10.5│8.0 │1.9 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│5.0 │60 │16│4.4 │2.6 │11.5│9.0 │2.0 │
└───────┴──┴─┴──┴──┴──┴──┴──┘
第5.2.4条送风、回风和排风体系的启闭应联锁。体系开启时,联锁程
序应为先启动送风机,再启动回风机和排风机;体系封闭时,则联锁顺序应相反。 第5.2.5条 非一连运转的洁净室,可凭据生产工艺要求正在置值班风机,
并应对新风停止处置惩罚。
@@& 第三节 气流组织和送风量
第5.3.1条气流组织的挑选,应相符以下要求:
一、清洁事情区的气流速度,应知足氛围清洁度和人体康健的要求去。并应
使清洁事情区气流流向单一;
二、回风口宜匀称部署正在洁净室下部;
三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧,不宜设在清洁事情区高度范围内。
第5.3.2条洁净室的气流组织和送风量,宜按表5.3.2选用。
气流组织和送风量 表5.3.2
┌───────┬───────────────┬───────┐
│氛围清洁 │ 100级 │ 1000级 │
│度品级 │ │ │
├─┬─────┼───────┬───────┼───────┤
│ │气流流型 │垂直层流 │程度层流 │ 乱流 │
│气├─────┼───────┼───────┼───────┤
│流│送凤 │1.顶棚满布高效│1.送风墙满布下│1.孔板顶棚送风│
│组│重要 │氛围过滤器送风│效氛围过滤器 │2.条形部署高效│
│织│体式格局 │(高效氛围过 │程度送风 │氛围过滤器顶棚│
│形│ │滤器占顶棚面积│2.送风墙部分布│送风 │
│式│ │不小于60%) │置高效氛围过滤│3.距离部署带扩│
│ │ │ │器程度送风 │散板高效氛围 │
│ │ │2.侧布高效氛围│(高效氛围过滤│过滤器顶棚送风│
│ │ │过滤器,顶棚设│器占送风墙面 │ │
│ │ │阻尼层送风 │积不小于40%)│ │
│ │ │3.全孔板顶棚收│ │ │
│ │ │风 │ │ │
│ ├─────┼───────┼───────┼───────┤
│ │回风 │1.格栅空中回风│1.回风墙满布 │1.相对两侧墙下│
│ │重要 │⑴满布 │回风口 │部匀称部署回 │
│ │体式格局 │⑵匀称部分部署│2.回风墙部分布│风口 │
│ │ │2.相对两侧墙下│置回风口 │2.洁净室面积较│
│ │ │部匀称部署回 │ │大时,可采用 │
│ │ │风口 │ │空中匀称部署 │
│ │ │ │ │回风口 │
├─┼─────┼───────┼───────┼───────┤
│收│气流流经室│不小于0.25 │不小于0.35 │ │
│风│内断面风速│ │ │ │
│量│(米/秒)│ │ │ │
│ ├─────┼───────┼───────┼───────┤
│ │换气次数 │ │ │不小于50 │
│ │(次/时)│ │ │ │
├─┴─────┼───────┼───────┼───────┤
│送风口风速 │孔板孔3~5 │ │孔板孔口3~5 │
│(米/秒) │ │ │ │
├───────┼───────┼───────┼───────┤
│回风口风速 │不大于2 │不大于1.5 │1.清洁室内回风│
│(米/秒) │ │ │口不大于2 │
│ │ │ │2.走廊内回风口│
│ │ │ │不大于4 │
└───────┴───────┴───────┴───────┘ 注:1.垂直层流洁净室接纳相对两侧墙下部匀称部署回风口体式格局,仅适用于两对侧
侧墙间距不大于5米.
2.乱流洁净室送风量确实定,宜思索室内露尘浓度不均匀散布的身分.
┌───────┬───────────┬───────────┐
│氛围清洁 │ 10,000级 │ 100,000级 │
│品级 │ │ │
├─┬─────┼───────────┼───────────┤
│气│气流流型 │ 乱流 │ 乱流 │
│流├─────┼───────────┼───────────┤
│组│送风 │1.部分孔板顶棚送风 │1.带散布板高效氛围过 │
│织│重要 │2.带散布板高效氛围过 │滤器顶棚送风 │
│型│体式格局 │滤器顶棚送风 │2.上侧墙送风 │
│式│ │3.上侧墙送风 │ │
│ ├─────┼───────────┼───────────┤
│ │回风 │1.单侧墙下部部署回风口│1.单侧墙下部部署回风口│
│ │重要 │2.当接纳走廊回风时,正在│2.当接纳走廊回风时,正在│
│ │体式格局 │走廊内匀称部署回风口或│走廊内匀称部署回风口或│
│ │ │正在走廊端部集中设置回 │正在走廊端部集中设置回 │
│ │ │风口 │风口 │
├─┼─────┼───────────┼───────────┤
│收│气流流经室│ │ │
│风│内断风面风│ │ │
│量│速 │ │ │
│ │(米/秒)│ │ │
│ ├─────┼───────────┼───────────┤
│ │换气次数 │不小于25 │不小于15 │
│ │(次/时)│ │ │
├─┴─────┼───────────┼───────────┤
│送风口风速 │1.孔板孔口3~5 │侧送风口 │
│(米/秒) │2.侧送风口 │⑴揭附射流2~5 │
│ │⑴揭附射流2~5 │⑵非贴附射流同侧墙下部│
│ │⑵非贴附射流同侧墙下部│回风1.5~2.5,对侧墙 │
│ │回风1.5~2.5,对侧墙 │下部回凤1.0~1.5 │
│ │下部回凤1.0~1.5 │ │
├───────┼───────────┼───────────┤
│回风口风速 │1.洁净室回风口不大于2│1.洁净室回风口不大于2 │
│(米/秒) │2.走廊内回风口不大于4│2.走廊内回风口不大于4 │
└───────┴───────────┴───────────┘
第5.3.3条乱流洁净室的送风量,应与以下划定的最大值:
一、为掌握室内空气清洁度所需求的送风量;
二、按表5.3.2划定的送风量;
三、凭据热、干负荷盘算和稀释有害气体所需的送风量;
四、按氛围平行所需求的送风量。
第5.3.4条当生产工艺仅要求正在清洁室内部分事情区到达更高的氛围净
净度时,其气流组织设计应使清洁气流起首流经该事情区,或正在洁净室的差别区
域构成差别气流流型和氛围清洁度品级的清洁事情区,其型式可离别按图5.3.
4-1、图5.3.4-2选用。
第5.3.5条层流清洁室内不宜设置清洁工作台;乱流清洁室内可设置净
净工作台,但其位置应阔别回风口。
第5.3.6条清洁室内有部分排风装配时,其位置应设在事情区气流的下 风侧。
--@@& 第四节 空气净化处置惩罚
第5.4.1条各品级氛围清洁度的空气净化处置惩罚,均应接纳初效、中效、
高效氛围过滤器三级过滤。
注:100,000级空气净化处置惩罚,可采用亚高效氛围过滤器替代高效氛围过滤器。
第5.4.2条肯定集中式或疏散式净化空气调节体系时,应综合思索消费
工艺特性和洁净室氛围清洁度品级、面积位置等身分。凡是生产工艺一连、洁净室
面积较大、位置集中和噪声控制和振动掌握要求严厉的洁净室,宜接纳集中式
净化空气调节体系。
第5.4.3条净化空气调节体系设想应公道应用回风。凡是工艺历程发生大
量有害物质且部分处置惩罚不克不及知足卫生要求或对其他工序有风险时,则不应应用回 风。
第5.4.4条净化空气调节体系除直流式体系和设置值班风机的体系中,
应接纳防备室外净化氛围经由过程新风口渗透清洁室内的防倒灌步伐。
第5.4.5条氛围过滤器的选用、部署和安装体式格局,应相符以下要求:
一、初效氛围过滤器不应选用浸油式过滤器
二、中效氛围过滤器宜集中设置正在净化空气调节体系的正压段;
三、高效氛围过滤器或亚高效氛围过滤气宜设置正在净化空气调节体系末尾;
四、中效、亚高效、高效氛围过滤器宜按额定风量选用;
五、阻力、效力邻近的高效氛围过滤器宜设置正在统一清洁室内; 六、高效氛围过滤器的安装体式格局应轻便可靠,宜于检漏和改换。
第5.4.6条送风机可按净化空气调节体系的总送风量和总阻力值停止选
择。中效、高效氛围过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍盘算。
第5.4.7条净化空气调节体系如需电加热时,应选用管状电加热器,位
置应部署正在高效氛围过滤器的下风侧,并应有防火安全措施。
@@& 第五节 采暖透风
第5.5.1条洁净室的采暖型式,应按以下差别状况肯定:
一、100级、1000级、10,000级洁净室,不应接纳散热器采暖;l00,000级
洁净室,不宜接纳散热器采暖。
二、值班采暖可应用手艺夹道的散热器停止直接采暖,或接纳间歇运转净化
空气调节体系、值班风机体系停止热风采暖。
第5.5.2条散热器应接纳外面润滑、不容易积尘、便于排除的型式。
第5.5.3条清洁室内发生粉尘和有害气体的工艺设备,应设部分排风装
置,排风罩的操纵口面积应只管缩小。
第5.5.4条部分排风体系鄙人列状况下,应零丁设置:
一、非统一净化空气调节体系;
二、排风介质混淆后能发生或加剧腐蚀性、毒性、熄灭爆炸危险性;
三、所排挤的有害物毒性相差很大。
第5.5.5条洁净室的排风体系设想,应接纳以下步伐:
一、防倒灌步伐;
二、含有易燃、易爆物资部分排风体系的防火、防爆步伐。
第5.5.6条换鞋室、存外套室、盥洗室、茅厕和淋浴室等,应接纳透风
步伐。其室内的静压值,应低于清洁区。
第5.5.7条洁净室变乱排风体系的换气次数,应接纳每小时15~20次。
变乱排风装配的掌握开关,应分别设在洁净室和室外便于操纵的所在,并应取净
化空气调节体系联锁,其室内宜设报警装置。
@@& 第六节 风管和附件
第5.6.1条风管断面尺寸确实定,应思索能对风管内壁停止干净处置惩罚,
并正在恰当位置设置密闭的排除口。风管壁厚按附录六选用。 第5.6.2条 净化空气调节体系的新风管、回风总管,应设置密闭调治阀。
送风机的吸入口处和需求调治风量处,应设置调治阀。清洁室内的排风体系,应
设置调治阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板微风管穿过防火墙处,必需设置
防火阀。
第5.6.3条净化空气调节体系的风管和调治阀和高效氛围过滤器的保
护网、孔板和散布孔板等附件的建造质料和涂料,应凭据运送氛围的清洁要求及
其所处的氛围情况前提肯定。
清洁室内排风体系的风管、调治阀和止回阀等附件的建造质料和涂料,应根
据扫除气体的性子及其所处的氛围情况前提肯定。
第5.6.4条正在中效和高效的氛围过滤器前后,应设置测压孔。正在新风管
和送回风总管和需求调治风量的支管上,应设置风量测定孔。
第5.6.5条扫除腐蚀性气体的风管,可采用塑料风管。其他风管和风
管的保温和消声质料及其粘结刑,应接纳非熄灭质料或易熄灭质料。
第六章 给水排水
@@& 第一节 一样平常划定
第6.1.1条清洁厂房内的给水排水干管,应敷设正在手艺夹层、手艺竖井、www.50522.com
地沟管槽内或地下埋设。
洁净室内应少敷设管道。引入洁净室的支管宜明敷,但对氛围清洁度品级要 供下的洁净室可暗敷。
第6.1.2条清洁厂房内的管道表面里,如能够结露,应接纳防结露步伐。
第6.1.3条管道穿过洁净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道取套管
之间应接纳可靠的密封步伐。
第5.1.4条管道不宜穿过防火墙。如必需穿过期,穿墙管及其套管应为
非熄灭体管材。
@@& 第二节 给水
第6.2.1条清洁厂房内的给水体系设想,应凭据消费、生涯和消防等各
项用水对水质、水温、水压和水量的要求,离别设置直流、轮回或反复应用的给
水系统。高纯水体系应设置轮回管道。
第6.2.2条管材的挑选,应相符以下要求:
一、纯水管、高纯水管应接纳硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管;
二、冷却轮回给水和回水管宜接纳镀锌钢管;
三、消费用火装备取管道的衔接宜接纳优良软管;
四、管道的配件应接纳响应的质料。
第6.2.3条清洁厂房内可设置开水供给设备;盥洗室内的盥洗盆宜供给
热水;硬化火、纯水管顺应预留洗濯口;纯水终端净化装配应放正在接近用水点处。
第6.2.4条清洁厂房的四周,应设置洒水设备。
@@& 第三节 排水
第6.3.1条清洁厂房的排水系统设想,应凭据消费排挤的废水性子、浓
度、水量等特性肯定排水系统,并应有废水处理或综合利用设备。 第6.3.2条 清洁室内的排水装备和取重力回水管道相连接的装备,必
须正在其排出口以下部位设水封装配,并应有防备水封被损坏的设备。
第6.3.3条 100级、1000级清洁室内,不宜设置地漏;如必需设置时,应
接纳有盖地漏,其实不应设排水沟。10,000、100,000级清洁室内许可穿过排水
横管,但正在竖管上不得设置搜检口。
第6.3.4条清洁厂房内应接纳不容易积压污物、易于排除的卫生用具、管
材、管架及其附件。
@@& 第四节 消防设施
第6.4.1条清洁厂房应凭据消费的火警危险性分类和建筑物耐火品级等
身分肯定消防设施。
第6.4.2条清洁厂房室内消火栓给水体系的消防用水量不应小于10降/
秒,每股水量不应少于5降/秒;
第6.4.3条清洁厂房的消火栓设置,应相符以下要求:
一、消火栓的水枪空虚水柱,不应小于10米。
二、消火栓的栓口直径应为65毫米,装备的火带长度不应凌驾25米,水枪喷
嘴口径不应小于19毫米。
第6.4.4条洁净室及其手艺夹道和手艺夹层内,均宜同时设置卤代烷或
二氧化碳等灭火设备和消防给水体系。对设有珍贵装备仪器或消费的火警危险性
较大的洁净室,和当火警发作时消防职员难以进入扑救的手艺夹层和手艺夹道 等部位,应同时设置卤代烷或二氧化碳等流动灭火装配和消防给水体系。
第七章 工业气体管道
@@& 第一节 一样平常划定
第7.1.1条工业气体管道的干管,应敷设正在手艺夹层、手艺夹道内。氢
气和氧气管道宜明敷;如敷设正在手艺夹层、手艺夹道内时,应接纳优越的透风措
施。引入洁净室的支管宜明敷。
第7.1.2条高纯气体管道设想,应附合以下要求
一、凭据盘算肯定管径;
二、管道体系应只管短;
三、不宜设预留口;
四、不应泛起“盲管”等不容易吹除的部位;
五、干管和收管上应设置吹除口; 六、正在管道体系上应设置需要的取样口。
第7.1.3条穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道,应敷设正在预埋套管内,
套管内的管段不应有焊缝。管道取套管之间应接纳可靠的密封步伐。
第7.1.4条氢气和氧气管道末尾或是高点宜设放散管。放散管应高出
屋脊1米,并应设在防雷珍爱区内。
第7.1.5条气体净化装配应凭据气源和生产工艺对气体纯度的要求停止
挑选。气体终端净化装配应设在接近用气点处。
第7.1.6条气体过滤器应凭据生产工艺对气体含尘量的要求停止挑选。
高纯气体管道应装设下气体过滤器。
@@& 第二节 管道质料、阀门和附件 第7.2.1条 凭据差别的气体及其纯度和用处,管道质料应按以下划定选
用:
一、气体纯度大于或即是99.999%时,应接纳不锈钢管;
二、气体纯度大于或即是99.99%时,曲接纳不锈钢管、铜管、无缝钢管;
三、气体纯度小于99.99%时,可采用无缝钢管;
四、管道取装备的衔接段,宜接纳金属管道;如为非金属软管时,宜接纳散
四氟乙烯管、聚乙烯管,不得接纳乳胶管。
第7.2.2条高纯气体管道应接纳密封机能好的阀门和附件,其质料取管
讲相适应。阀门的密合圈应为有色金属、锈钢或聚四氟乙烯质料。阀门的填塞料
应接纳聚四氟乙烯质料。
第7.2.3条高纯气体管道取附件衔接的密封垫,应接纳不锈钢、有色金属、
聚四氟乙烯或氟橡胶质料。www.50522.com
@@& 第三节 管道衔接和洗濯
第7.3.1条管道连策应接纳焊接。高纯气体管道应接纳承插焊。
第7.3.2条管道取装备、阀门的衔接处,宜接纳法兰、罗纹或别的密封
机能优秀的衔接件。罗纹处宜接纳聚四氟乙烯带密封。
第7.3.3条高纯气体管道内的内壁、阀门和附件正在安装前,应停止洗濯、
脱脂等预处理。
@@& 第四节 安全技术
第7.4.1条工业气体管道设想的安全技术,应相符以下划定: 一、氢气管道的收管和放散管上,应设置回火防备器;
二、氢气和氧气管道应设置导除静电装配;
三、各种气体管道应设显着标记。
第7.4.2条清洁室内运用氢气时,宜正在室内设置报警装置。
第7.4.3条种种气瓶应集中设置正在清洁厂房中。当日用宇量不超过一瓶
时,气瓶可设置正在清洁室内。
第八章 电 气
@@& 第一节 配电
第8.1.1条清洁厂房的电力负荷品级,应凭据生产工艺要求肯定。净化
空气调节用电负荷、照明负荷,应由变电所专线供电。
第8.1.2条电源进线(不包括消防用电)应设置割断装配,并宜设在非
清洁区便于管理的所在。
第8.1.3条清洁室内的配电装备,应挑选不容易积尘的装备,并宜暗装。
大型配电装备不宜设在清洁室内。
第8.1.4条清洁室内的电气管线宜暗敷,管材应接纳非熄灭质料。由非
清洁区进入清洁区的电气管线管口,应接纳可靠的密封步伐。
@@& 第二节 照明
第8.2.1条清洁室内的照明光源,宜接纳荧光灯。如达不到照明设计的
手艺经济指标要求时,也可采用其他光源。
第8.2.2条清洁室内一般照明灯具宜明装。如灯具嵌入顶棚暗装时,其
安装漏洞应接纳可靠的密封步伐。
清洁室内不应接纳格栅型灯具。 第8.2.3条 无采光窗清洁区工作面上的照度值,不应低于表8.2.3的规
定数值。
无采光窗清洁区工作面上的照度值 表8.2.3
┌──────┬──────┬──┬───────┐
│辨认工具的 │视觉事情分类│亮度│照度(勒克斯)│
│最小尺寸 ├──────┤对照├───┬───┤
│d(毫米) │品级 │ │混淆 │一样平常 │
│及场合 │ │ │照明 │照明 │
├──────┼─┬────┼──┼───┼───┤
│d≤0.15 │Ⅰ│甲 │小 │2500 │500 │
│ │ │乙 │大 │1500 │300 │
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤ │0.15≤d≤0.3│Ⅱ│甲 │小 │1000 │300 │
│ │ │乙 │大 │750 │200 │
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤
│0.8≤d≤0.6 │Ⅲ│甲 │小 │750 │200 │
│ │ │乙 │大 │750 │150 │
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤
│d>0.6 │Ⅳ│ │ │750 │150 │
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤
│通道、休息室│ │ │ │ │100 │
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤
│暗房工作室 │ │ │ │ │30 │
└──────┴─┴────┴──┴───┴───┘
第8.2.4条无采光窗清洁区混淆照明中的一般照明,其照度值应当按等
级混淆照明照度值的10-l5%接纳,其实不应低于150勒克斯。
第8.2.5条清洁厂房内应设置供职员分散用的变乱照明。正在应急平安出
口和分散通道转角处应设置标记灯。正在公用消防口处应设置赤色应急照明灯。
第8.2.6条清洁室内一般照明的照度匀称度不应小于0.7。
@@& 第三节 掌握、通讯和防护
第8.3.1条清洁厂房的净化空气调节控制系统,应知足生产工艺对温度、 湿度和正压的要求。净化空气调节体系所接纳的电加热器,应设置无风断电珍爱。
第8.3.2条清洁厂房内应设置取厂房表里联络的通讯装配。
第8.3.3条清洁厂房(包孕手艺夹层)应零丁或组合设置感温、感光、
感烟等情势的火警探测器。报警器(受讯台)应设置正在有人值班的所在,供电应
可靠。
第8.3.4条清洁区内应设紧要按钮。如发作火警伤害时,应能收回报警
旌旗灯号,并应同时割断风机电源。
附录一 名词解释
┌──┬──────┬────┬────────────┐
│序 │本范例用名词│曾用名词│注释 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│1 │洁净室 │ │凭据需求,对氛围中尘粒、│
│ │ │ │温度、湿度、压力和噪声 │
│ │ │ │停止掌握的密闭空间,并 │
│ │ │ │以其氛围清洁度品级相符 │
│ │ │ │本范例划定为主要特征 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│2 │清洁区 │净化区 │由洁净室所构成的地区 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│3 │人身净化用室│人净生涯│清洁区工作人员正在进入净 │
│ │ │间 │净区之前按肯定顺序停止 │
│ │ │ │净化的辅佐用室 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│4 │物料净化用室│ │物料正在进入清洁区之前按一│
│ │ │ │定顺序停止净化的辅佐用室│
├──┼──────┼────┼────────────┤
│5 │手艺夹层 │管道夹层│重要以程度构件分开组成 │
│ │ │手艺阁楼│的供安装管线等设备运用 │
│ │ │ │的修建夹道 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│6 │手艺夹道 │手艺走廊│重要以垂直构件分开成的 │
│ │ │手艺管械│供安装管线等设备运用的 │
│ │ │手艺夹墙│修建夹道 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│7 │手艺竖井 │ │重要以垂直钩件分开组成 │
│ │ │ │的供安装竖向管线运用的 │
│ │ │ │井式修建辅佐空间 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│8 │修建风道 │ │以修建构件构成的风道 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│9 │轻型吊顶 │沉吊顶、│以轻型骨架和饰里板材安 │
│ │ │硬吊顶 │装构成的顶棚 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│10 │粒 径 │ │指尘粒由某种测定要领测 │
│ │ │ │出的长度名义尺寸,其实不 │
│ │ │ │含有详细的多少外形的意 │
│ │ │ │义。当接纳光学显微镜测 │
│ │ │ │准时,是指尘粒投影经由过程 │
│ │ │ │测微标尺时为标尺刻度线 │
│ │ │ │所切两瑞的长度 │
│ │ │ │当采用光散射式粒子计 │
│ │ │ │数器测定时,是目标准尘 │
│ │ │ │粒(如散本烯小球)做散 │
│ │ │ │射光强度的等效对照而得 │
│ │ │ │的综合结果 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│11 │露尘浓度 │ │指单元体积氛围中所露悬 │
│ │ │ │浮尘粒的数目 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│12 │清洁度 │ │指清洁情况中空气含尘 │
│ │ │ │粒多少的水平 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│13 │全室空气净化│周全净化│经由过程空气净化等技术措施,│
│ │ │ │使室内全部空间的氛围露尘│
│ │ │ │浓度到达本范例的氛围清洁│
│ │ │ │度品级,这类体式格局称全室空│
│ │ │ │气净化 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│14 │部分空气净化│ │仅使室内事情地区特定的 │
│ │ │ │部分空间的氛围露尘浓度达│
│ │ │ │到本范例的氛围清洁度品级│
│ │ │ │这类体式格局称部分空气净化 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│15 │层流洁净室 │平行流 │正在清洁室内,氛围以匀称的│
│ │ │ │断面速度沿平行流线活动(│
│ │ │ │取流体力学的层流观点不完│ │ │ │ │全雷同) │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│16 │乱流洁净室 │ │正在清洁室内,氛围以不均匀│
│ │ │ │的速度呈不平行流线活动 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│17 │清洁事情区 │ │指清洁室内(除生产工艺特│
│ │ │ │殊要求中)离空中0.8~1.5│
│ │ │ │米高度的地区 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│18 │第一清洁事情│ │指程度层流洁净室事情区 │
│ │区 │ │内氛围清洁度最初的事情位│
│ │ │ │置 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│19 │氛围吹淋室、│风淋室、│强迫吹除工作人员及其衣 │
│ │通道式氛围吹│氛围淋 │服上附着尘粒的装备 │
│ │淋室 │浴室 │ │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│20 │气闸室 │ │为连结清洁区的氛围清洁 │
│ │ │ │度和正压掌握而设置的缓冲│
│ │ │ │室 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│21 │清洁工作服 │尼龙服、│为了把工作人员的皮肤和 │
│ │ │无尘服 │衣服发生的尘粒限于最小程│
│ │ │ │度所运用的尘土量少的清洁│
│ │ │ │打扮 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│22 │过滤器额定风│ │指正在肯定滤速下,使其效力│
│ │量 │ │和阻力为最公道时的过滤器│
│ │ │ │风量 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│23 │地道式洁净室│ │正在清洁室内接纳层流罩组 │
│ │ │ │成地道式的垂直层流型的局│
│ │ │ │部清洁事情区,以部署有较│ │ │ │ │高空气清洁度要求的消费工│
│ │ │ │序或消费流水线 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│24 │外围修建 │ │指安装装配式洁净室地点 │
│ │ │ │的新建或改建建筑物 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│25 │气流组织 │ │指对气流流向和匀称度按 │
│ │ │ │一定要供停止构造 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│26 │滤膜显微镜 │ │将测定用薄膜过滤器捕集 │
│ │计数法 │ │到的尘粒用显微镜放大后,│ │ │ │ │视察尘粒大小和数量的要领│
├──┼──────┼────┼────────────┤
│27 │纯水 │去离子水│指温度25℃时,电阻率 │
│ │ │深度脱盐│大于0.1×10^6欧姆·厘米的│
│ │ │火 │火 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│28 │高纯水 │ │指温度25℃时,电阻率大于│
│ │ │ │0.1×10^6欧姆·厘米,水中│
│ │ │ │大于或即是0.5微米的尘粒│
│ │ │ │小于300粒/毫升,活微生│
│ │ │ │物小于9个/毫升的纯水 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│29 │纯水终端净 │纯水后处│正在用水点四周,对水质做进│
│ │化妆置 │理装备 │一步净化处置惩罚的装配 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│30 │高纯气体 │ │指纯度大于或即是 │
│ │ │ │99,9999%, │
│ │ │ │含水量小于5ppm的气体 │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│31 │气体终端净 │ │正在用气点四周,对气体做进│
│ │化妆置 │ │一步纯化处置惩罚的装配 │
├──┼──────┼────┼────────────┤ │32 │高效气体过 │ │气体经由滤后,到达小于或│
│ │滤器 │ │即是0.5微米尘粒含量小于│
│ │ │ │或即是3.5粒/降的气体过│
│ │ │ │滤器 │
└──┴──────┴────┴────────────┘
附录二
洁净室氛围清洁度的测试
一、洁净室的氛围清洁度,应停止以下测试:
(一)空态、静态测试
空态测试:洁净室已完工,净化空气调节体系已处于一般运转状况,室内出
有工艺设备和消费职员的状况下边止测试。
静态测试:洁净室净化空气调节体系已处于一般运转状况,工艺设备已安装,
室内没有消费职员的状况下停止测试。
(二)静态测试
洁净室已处于一般消费状况下停止测试。
二、洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一样平常通用、
空气调节的有关规定实行。
三、空态、静态测试
(一)测试前的预备
1、应对洁净室及其净化空气调节体系停止完全干净。
2、采用光散射粒子计数器对高效氛围过滤器停止检漏测试。起首测定高效
氛围过滤器的下风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或即是0.5微米的尘粒数应
为大于或即是30,000粒/降。如若不敷,可引入烟雾,然后最先检漏。将粒子计数器(或检漏装配)的采样口间隔高效氛围过滤器2--3厘米处,能够2~4厘米
/秒的速度移动,对高效氛围过滤器全部断面 封头胶处和安装框架处停止扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或即是0.5微米的尘粒凌驾3粒/分·降(或其
穿透率大于0.01‰)即以为该处有显着渗漏,必需停止堵漏。
(二)测试内容
1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;
2、洁净室压力值;
3、层流洁净室断面风速和气流流向;
4、清洁事情区的清洁度;
5、室内温度、湿度及其掌握才能的调解测试; 6、清洁室内噪声。
(三)清洁事情区氛围清洁度的测试要领
关于粒径大于或即是0.5微米的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法。关于
粒径大于或即是5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。
光散射粒子计数法:
1、光散射粒子计数器采样量
100级:每次采样量大于或即是1降。
l,000级-l0,000级:每次采样量大于或即是0.3降。
100,000级:每次采样量大于或即是0.1降。
关于100级洁净室,宜接纳大流量粒子计数器停止测试;
若是前提不具有时,可采用每次采样量不小于1降的粒子计数器。
2、采样注意事项 (1)采样管必需清洁,衔接处严禁渗漏。
(2)采样管的长度,应凭据仪器的许可长度。当无划定时,不宜大于1.5
米。
(3)采样管口的流速,宜取洁净室断面均匀风速相接远。测试职员应正在采
样口的下风侧。
(4)采样递次应按含尘浓度从低到高停止。
3、测点部署
(l)检测正在清洁事情区内停止。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为
离空中1米。
(2)层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为0.5~2.0米,粒径大
于或即是0.5微米的尘粒数许可有一个点凌驾。程度层流洁净室测点仅部署正在第
一清洁事情区内。 (3)乱流洁净室可按清洁面积小于或即是50平方米部署5个测点(附图2)。
每增添20-50平方米,增添3--5个测点。
4、数据整顿
(1)每一个测点的数据整顿应正在测试仪器稳固运转的条件下一连三次采样,
与其平均值,即为该点的实测数值。
(2)关于大于或即是0.5微米的尘粒数肯定:层流洁净室与各测定点最大
值,乱流洁净室取各测点的平均值。
(四)正压值测定应接纳精度可达0.01毫米水柱的微压计。
四、静态测试。
正在清洁事情区操纵位置挑选有代表性测点的气流下风背停止,测试要领同空
态、静态测试。
附录三 清洁厂房消费的火警危险性分类举例
┌──┬────────────────────────┐
│消费│ 举 例 │
│种别│ │
├──┼────────────────────────┤
│甲 │微型轴承装配的精研间、装配前的搜检间 │
│ │周详陀螺仪装配的洗濯间 │
│ │磁带涂布烘干工段 │
│ │化工厂的丁酮、丙酮、环乙酮易燃熔剂的物 │
│ │理提纯工作间(光致抗蚀剂的配制工作间) │
│ │半导体材料厂运用氢气的拉晶间、硅烷热剖析室 │
│ │集成电路工场的化学洗濯间(运用闪点小于28℃的易燃│
│ │液体者)内涵间、化学气相堆积间和化学试剂储存间 │
├──┼────────────────────────┤
│乙 │胶片厂的洗印车间 │
├──┼────────────────────────┤
│丙 │盘算机房纪录数据的磁盘储存间 │
│ │显像管厂装配工段烧枪间 │
│ │磁带装配工段 │
│ │集成电路工场的氧化、散布间、光刻间 │
└──┴────────────────────────┘
附录四
净化空气调节体系
设想对施工的要求
一、风管、静压箱和附件的施工,应相符以下要求:
(一)施工现场应连结干净。风管及其附件、静压箱、氛围调节器、手艺夹
层、机房和别的装备、装配等的清洁工作应边施工边停止;
(二)风管、静压箱和附件等建造后,应寄存正在干净、枯燥的所在,并应采
与防备积尘的步伐;
(三)接纳复合钢板、镀锌钢板建造的风管,正在加工、安装、施工历程中造
成的破坏应补涂涂料;
(四)排除、擦拭应选用不产尘、不失落纤维的东西和质料。
二、高效和亚高效氛围过滤器的安装,应相符以下要求:
(一)必需正在土建施工、净化空调体系初效、中效氛围过滤器安装终了,全
体系停止搜检、擦试、吹洗运转12小时后方能停止;
(二)高效氛围过滤器必需正在安装时方可从珍爱袋中掏出,同时应停止透光
目视搜检。凡是滤纸破坏、漏胶和中框变形者,不得安装;
(三)过滤器取安装框架之间,必需接纳密封步伐;
(四)过滤器安装就位后,必需停止检漏和堵漏。
三、装配式洁净室、氛围吹淋室、气闸室、余压调治阀等净化装备和部件的
安装,应严厉根据产物的安装、施工要求停止。
附录五
净化空气调节体系设想对保护管理的要求
一、洁净室的氛围,宜按附表5划定停止监测
洁净室的氛围监测频数 附表5
┌──────┬──┬───┬────┬──────┐
│\氛围净 │ │ │ │ │
│鉴测\ 净度│100 │1000 │10,000 │ 100,000 │
│项目\品级 │ │ │ │ │
├──────┼──┴───┴────┴──────┤
│温度 │每班二次 │
├──────┼──────────────────┤
│湿度 │每班二次 │
├──────┼────┬─────────────┤
│正压值 │每周一次│每个月一次、 │
├──────┼────┼──────┬──────┤
│清洁度 │每周一次│每三个月一次│每六个月一次│ └──────┴────┴──────┴──────┘
附录六
净化空气调节体系风管壁薄
风管壁薄 附录6www.50522.com
┌─┬────────┬────────┬────────┬────────┐
│风│冷轧镀锌 │铝板制风管 │不锈钢板造风管 │塑料板造风管 │
│管│钢板造风管 │ │ │ │
│形├────┬───┼────┬───┼────┬───┼────┬───┤
│状│外径或最│壁厚 │外径或最│壁厚 │外径或最│壁厚 │外径或最│壁厚 │
│ │大边长 │(毫 │大边长 │(毫 │大边长 │(毫 │大边长 │(毫 │
│ │(毫米)│ 米)│(毫米)│ 米)│(毫米)│ 米 │(毫米) │ 米)│
├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│圆│100~200│0.5 │100~320│1.0 │100~500│0.5 │100~320│3.0 │
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│风│220~500│0.75 │360~630│1.5 │560~ │0.75 │360~630│4.0 │
│管│ │ │ │ │1120 │ │ │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │560~ │1.0 │700~ │2.0 │1250~ │1.0 │700~ │5.0 │
│ │1120 │ │2000 │ │200 │ │1000 │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │1250~ │1.2~ │ │ │ │ │1120~ │6.0 │
│ │2000 │1.5 │ │ │ │ │2000 │ │
├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│矩│100~200│0.5 │100~320│1.0 │100~500│0.5 │120~320│3.0 │
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│风│220~500│0.75 │360~630│1.5 │560~ │0.75 │100~500│4.0 │
│管│ │ │ │ │1120 │ │ │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │560~ │1.0 │700~ │2.0 │1250~ │1.0 │6300~ │5.0 │
│ │1120 │ │2000 │ │2000 │ │800 │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │1250~ │1.2~ │ │ │ │ │1000~ │6.0 │
│ │2000 │1.5 │ │ │ │ │1250 │ │
│ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤
│ │ │ │ │ │ │ │1600~ │8.0 │
│ │ │ │ │ │ │ │2000 │ │
└─┴────┴───┴────┴───┴────┴───┴────┴───┘
附录七
本范例用词阐明
一、实行本范例条则时,关于要求严厉水平的用词阐明以下,以便实行中区
别看待。
1、表承很严厉,非如许做弗成的用词:
正面词接纳“必需”;
不和词接纳“严禁”。
2、示意严厉,正在一般状况下均应如许做的用词:
正面词接纳“应”;
不和词接纳“不应”或“不得”。
3、示意许可稍有挑选,正在前提允许时,起首应如许做的用词:
正面词接纳“宜”或“可”;
不和词接纳“不宜”。
二、条则中指明必需按其他有关尺度和范例实行的写法为:“应按……实行”
或“应相符……要求或划定”。非必需按所指定的尺度和范例实行的写法为,“
可参照……”。
 
 

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